显影的主要过程如下:
对准曝光→曝光后烘→显影→坚膜→显影检测。
对准曝光(Alignment and Exure)
对准曝光阶段是光刻工艺的重要阶段,使用的掩膜曝光机,即光刻机,集中了光刻工艺中重要的工艺技术。对准曝光过程通常在黄光实验室中进行。
经达长期的实实践经验总结,如经的PCB线路板厂家在曝光与显影工艺上都会有严格的技术参数控制。由于UV光具有穿透物质的特性,同时也由于环氧树脂等具有强烈吸收UV光的特性,五金腐蚀曝光显影订制,因而具有强烈的光交链反应,尽管通过曝光的光化学(交链)作用,基本上固化了,但大多是不的。加上显影、清洗等吸收的水份,所以要通过加热来完成
曝光定位 ①目视定位 适用于重氮照相底法。利用稀碱溶液与光致抗蚀剂中未曝光部分的活性基团(羧基)反应,生成可溶性的物质溶于水,而曝光部分的干膜不发生溶解。然后贴上胶带贴牢,即可进行曝光。曝光后,聚合反应还要持续一段时间,为保证工艺的稳定性,五金腐蚀曝光显影生产厂家,曝光后不要立即揭去聚酯膜,利用稀碱溶液与光致抗蚀剂中未曝光部分的活性基团(羧基)反应,生成可溶性的物质溶于水,而曝光部分的干膜不发生溶解。
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