曝光机理：通过紫外光照射，使干膜感光剂中的非聚合状态有机分子桥接成聚合体。·光源：散射光、准平行光、平行光、激光。·设备：手动对位曝光机，半自动对位曝光机，自动曝光机，LDI曝光机，DI曝光机。曝光后的工序是化学显影，显影使潜影显现并固化。工业上很多设备都应用了曝光的原理，将图文信号转移到需要的材料上。
一般来说，显影过程中被曝光和未曝光部分的光刻胶都会与光刻胶发生反应，因此，保温杯曝光显影抛光，如图所示，并导致后期去胶困难。一般使用热板或烘箱来控制温度变化。光刻工艺中的坚膜工序。检验的目的是区分那些有很低可能性通过终掩膜检验的晶圆；提供工艺性能和工艺控制数据；及分拣出需要重做的晶圆。在显影检验工艺，工程师有个判断工艺的性能机会。显影检验步骤的第二个重要性与在检验时作的拒收有关。
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