保温杯曝光显影厂家 利成感光 保温杯曝光显影

一般使用热板或烘箱来控制温度变化。光刻工艺中的坚膜工序。坚膜是在显影后以适当的温度烘干玻璃以除去水分并增强其聚合，提高强度的工艺，它增强了胶膜与玻璃的粘附性。在显影和烘焙之后就是要完成光刻掩膜工艺的质检。适当地来说应叫显影检验（develop inspect）或DI。在显影检验工艺，工程师有个判断工艺的性能机会。显影检验步骤的第二个重要性与在检验时作的拒收有关。

显影的主要过程如下：

对准曝光→曝光后烘→显影→坚膜→显影检测。

对准曝光（Alignment and Exure）

对准曝光阶段是光刻工艺的重要阶段，使用的掩膜曝光机，即光刻机，集中了光刻工艺中重要的工艺技术。对准曝光过程通常在黄光实验室中进行。

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曝光后应尽快进行显影步骤中的烘干处理，从而有效降低驻波效应的影响，保温杯曝光显影厂，这是由于曝光过程中，保温杯曝光显影厂家，入射光和反射光会产生相互干涉，其光强会沿着胶体水平方向形成波纹形状，即驻波。目前通常采用曝光后立刻烘干方式，保温杯曝光显影哪里有，即PEB，减少驻波效应带来的影响。使用的光刻机也根据不同的曝光原理，分为接触式曝光，接近式曝光和投影式曝光。保温杯曝光显影保温杯曝光显影


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